光伏设备S型内偶

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将磷、硼等元素扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布情况，以建立不同的电特性区域。而扩散炉专用热电偶特别应用于光伏行业的多晶硅铸锭炉和半导体扩散炉，且采用多点同时测量炉内整段温度，为扩散炉的精确控制炉温均匀性提供了有力的保障。我司的专利产品结构（专利号：201620109983.7）用于扩散炉整段测温的多点热电偶结构被广泛的应用于扩散炉内热偶的制造中。